化学机械抛光是指利用抛光机、抛光液、抛光布等在一定的工艺条件下实现材料表面高平坦化的加工过程，其中抛光液的供给由
蠕动泵完成。
蠕动泵特有的泵送液体与泵体严格分离的结构以及泵管和泵头可随时更换的特点，使得在化学抛光过程中，
蠕动泵应用的优势非常明显。
（1）无污染：在化学抛光过程中，蠕动泵输送的抛光液始终在泵管内流动，不接触泵体，尤其是不与机械传动机构接触，避免了化学机械抛光过程中的金属污染，同时也不会由于抛光液的腐蚀性损坏泵体的机械元件。
（2）具有自吸能力：蠕动泵在工作过程中，可产生足够的真空吸力将抛光液从夜池中吸到泵管中，从而可免除前期灌泵和吸入管充水过程。这也免除了淹没充水的需要，因此不再需要将泵置于液体源液面以下，使泵的安装位置变得更加灵活，与抛光机本身更好的融为一体。另外，蠕动泵中充水不会流失，因此可免除无谓停机。
（3）操作简便：蠕动泵的操作非常简单，开箱取出即可使用。泵头的安装只需要用手旋螺钉几分钟内即可安装好，泵管的安装、拆卸、锁紧可根据要求随时进行，不需要任何工具。另外，蠕动泵控制简单，用拨号盘或小键盘即可进行转速控制，通过直观易懂的菜单方式来编程控制较为复杂的任务。另外根据不同的流量要求也可一个蠕动泵同时连接2-3个泵头，实现抛光液的多路供给。
